现代科学的发展，尤其对水处理的要求日益严格，其中直接采用纯水作溶剂和工艺用水的部门也逐渐增多，因而纯水制备技术相应地迅速发展起来。所谓纯水是指化学纯度极高的水，它是微电子技术、半导体集成电路的重要基础材料，也是生物医学、制药卫生、化工、食品等工业部门的基础材料之一。
普通水中含有各种类型的杂质，如电解质、有机杂质、颗粒杂质和微生物杂质。制取超纯水的原理，就是采用适当的方法和装置，将水中所含有的各种杂质除去，获得满足水质要求的无杂质水。水的净化是一个多级处理过程。根据原水水质物性和出水水质要求，制水系统的设计和组建是多种多样的。原水硬度较高的，尤其是深井水，硬度高达200mg/L以上，为保证下一级净水系统正常产水，需要加软化器。如果原水水质含有机物或浊度较高，则制水系统中还需要增加凝聚、过滤和澄清的水处理。
超纯水的制备工艺，关键取决于原水水质和用户对出水水质的要求，一般由水处理、脱盐和后处理三个工序组成。目前，把包括反渗透和超滤技术在内的纯水系统称为最佳系统。反渗透能去除90%以上的总溶解盐类，95%以上的溶解性有机物，98%以上的微生物及胶体物质，这就大大减轻了离子交换装置的负荷和有机污染；超滤保证了各种微粒、细菌的去除；从而进一步提高了出水质量和供水的可靠性。
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